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·AG九游会·产品名称:XD770.300S大负载压电纳米定位台

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·AG九游会·产品特点:XD770.300S大负载压电纳米定位台,在精密定位领域中发挥着至关重要的作用,可集成于各类高精密装备,为其提供纳米级运动控制,且应用非常广泛,例如显微扫描、光路调整、纳米操控技术、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。

更新日期:2023-06-09

XD770.300S大负载压电纳米定位台的详细资料:

XD770.300S大负载压电纳米定位台

压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用,可集成于各类高精密装备,为其提供纳米级运动控制,且应用非常广泛,例如显微扫描、光路调整、纳米操控技术、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。随着科技不断进步,精密定位技术对于定位系统的行程、负载、精度要求也不断攀升,哈尔滨芯明天科技·AG九游会·持续加强技术实力和研发能力,不断攻克技术壁垒,提升·AG九游会·产品性能,以满足对大行程、大负载、高精度的应用要求。

此次为大家介绍的是一款具有大行程、大负载特点的一维压电纳米定位台,型号为XD770.300S,尺寸为(130×100×33)mm^3,实物外观如下图所示。


图片



XD770.300S大负载压电纳米定位台

Z向运动,大负载、大行程

XD770.300S压电纳米定位台为Z轴方向的运动平台,行程可达300μm,负载可达5kg,实现行程范围和负载能力的双提升,为同时有大行程、大负载应用需求提供了优质的解决方案。配合芯明天压电控制器,分辨率高、响应速度快。



图片

配置闭环传感,更高精度


XD770.300S压电纳米定位台内部配置有闭环传感器,反馈可体现精确位置的电信号,可对压电纳米定位台的运动位置进行实时调整,提供更高的精度。经过实测,它的线性度可达0.08%F.S.,重复定位精度可达0.02%F.S.。

线性度
正向线性度(%F.S.)
0.056%
反向线性度(%F.S.)
0.073%
双向线性度(%F.S.)
0.073%
重复度
正向重复度(%F.S.)
0.011%
反向重复度(%F.S.)
0.009%
双向重复度(%F.S.)
0.017%




紧凑尺寸,多孔安装


XD770.300S压电纳米定位台在具有大承载的情况下,体积并未有过大的增加,反而很紧凑。在它的移动上表面,具有16个负载安装孔,非常便于负载的安装。图片



技术参数


型号
XD770.300S
运动自由度
Z
驱动控制
1路驱动、1路传感
标称行程范围(0~120V)
240μm
行程范围(0~150V)
300μm
传感器
SGS
闭环分辨率
10nm
线性度
0.08%F.S.
重复定位精度
0.02%F.S.
俯仰/偏航/滚动
<15μrad
空载谐振频率
380Hz
带载5kg谐振频率
110Hz
闭/开环空载阶跃时间
300/10ms
承载能力
5kg
静电容量
43.2μF
工作温度
-20~80℃
材质
钢、铝
重量
2kg




推荐控制器


XD770.300S压电纳米定位台可使用芯明天E53.D系列压电控制器驱动,它是单通道压电控制器,可通过模拟输入控制或上位机软件控制。具有体积小、易集成等特点。

图片

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