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压电纳米定位台的特点说明

点击次数:1865 发布时间:2018/3/7
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详细介绍:

压电纳米定位台的特点说明

  ·AG九游会·产品特点:
  超薄的外形尺寸,超大的中空尺寸;
  采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统;
  内置高性能的压电陶瓷,高可靠性;
  内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择。
  压电纳米定位台是采用压电陶瓷驱动的Z向纳米级精密压电纳米定位台,压电扫描台内部使用无摩擦、无回差的柔性铰链导向结构,压电定位台采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,压电平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了压电纳米定位台具有的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式超薄设计,且中央通孔较大,可更好的集成于显微及扫描系统中。

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